開循環低溫探針臺 (LPS-50)

產品概要：

低溫探針臺可以對器件進行非破壞性的測試，器件的最大尺寸可達到102mm(4inch)。一般來講， 納米電子材料、量子線、量子點和半導體材料是在低溫探針臺在進行測量的比較典型的材料。系統的探針、測試電纜、樣品架都有多種類型可供選擇，從而滿足不同用戶的需要。

基本信息：

1、系統可使用液氮或液氦制冷，基本系統溫度 范圍：4.2/77 K to 500 K

2、高溫選件，溫度范圍可到 20K-700K

3、￠5mm(0.2 in)光學樣品架，可以從背面照射樣品

4、樣品臺旋轉選件，旋轉角度±180 度，角度分辨率

5、0.1 度，可選手動或電動旋轉

6、測量 DC 到 67GHz

7、最大測試樣品尺寸 51mm 直徑

8、最多可使用 6 個探針臂

9、探針臂上安裝溫度感器進行溫度監測

10、控溫穩定性： ±50mK

11、探針臂 3 軸方向可調節，并可進行面內±5°旋轉

技術優勢：

1、電纜、屏蔽和 Guard 保護進一步減少了電噪聲和熱輻射損失

2、支持未來升級閉循環，可將溫度范圍擴展到 4k

3、控溫穩定性大大增強

4、實時進行溫度檢測

應用方向：

它為材料或器件的電學特性測量、光電特性測量、參數測量、 high Z 測量、DC 測量、RF 測量和微波特性測量提供一個測試平臺。

開循環低溫探針臺 (LPS-50)

配置：

1. 樣品臺：2寸

2. 支持6套DC探針

3. 溫度范圍：80k-500k

4. 支持低于100fA的漏電測試

開循環低溫探針臺 (LPS-50)

開循環低溫探針臺 (LPS-50)

開循環低溫探針臺 (LPS-50)